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活泼性/腐蚀性气体分析仪

简要描述:HPR-80活泼性/腐蚀性气体分析仪是专为活泼性、腐蚀性气体分析和半导体、真空过程研究而设计的仪器。可快速、定量分析活泼性、腐蚀性气体混合物。

  • 产品型号:HPR-80
  • 厂商性质:代理商
  • 更新时间:2023-11-22
  • 访 问 量:2533
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    详细介绍
    品牌 其他品牌 产地类别 进口
    应用领域 综合

    HPR-80活泼性/腐蚀性气体分析仪应用:


    • 等离子体/反应性离子蚀刻研究
    • CVD / PVD / MOCVD
    • 半导体晶片加工研究
    • 真空、等离子体过程
    • 活性物质定量分析
    • HF,HCl,HBr,CFC 研究

    HPR-80活泼性/腐蚀性气体分析仪特点:


    • 加热的电抛光波纹管,快速偶合连结器
    • 可清除的,带粘性流QIC校正的进样口用于定量分析
    • 高灵敏度至 5 ppb, 质量数为 2500 amu.
    • 进样压力从 1 mtorr 至大气压
    • 电容压力计,压力检测可不受分析物影响
    • 稳定性好 (24h之上,小于峰高±0.5% )
    • 软件 MASsoft 控制
    • 矩阵反演,归一化及单峰参考

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